Halbleiter

Halbleiter

Die hochgenaue Fertigung von Spiegeln und Linsen für Waferstepper für die Halbleiterproduktion ist eine der anspruchsvollsten Aufgaben in der Optikproduktion. Mit den  Maschinenplattformen MCG, MCP und UPG bietet OptoTech Maschinen, die sich aufgrund ihrer hohen Genauigkeit sowie der größtmöglichen Flexibilität der bearbeitbaren Bauteilgeometrien ideal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie eignen. Die hohe Steifigkeit der Schleifmaschinen ermöglicht sehr geringe Abweichungen von der Soll-Geometrie, welche durch anschließende Korrekturen weiter reduziert werden können. Darüber hinaus zielt die Technologie unserer Ultrapräzisionsschleifmaschinen (UPG-Baureihe) auf eine noch höhere Formgenauigkeit bei gleichzeitig verringerten Tiefenschädigungen ab. Dies hat eine massive Reduktion der Polierprozesszeiten zur Folge. Zum Einsatz kommt hierbei unser einzigartiges Multi-Tool-Konzept, womit sich schnelles Auspolieren, deterministisches Korrigieren sowie effizientes Glätten der unterschiedlichen Flächengeometrien umsetzen lassen. Für die verschiedenen Poliertechnologien optimierte Verweilzeitberechnungen sowie angepasste Korrekturzyklen ermöglichen eine hohe Konvergenz entlang der gesamten Prozesskette.